看完這篇文章，瞬間了解四極質(zhì)譜儀

　　四極質(zhì)譜儀用于監控過(guò)程氣體和基本真空條件的工具是Transpector XPR3L氣體分析系統提供的經(jīng)濟高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過(guò)程監控解決方案可以實(shí)時(shí)提供有關(guān)過(guò)程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質(zhì)和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過(guò)程良率和產(chǎn)品質(zhì)量。XPR3L 提供的本底監控解決方案可以通過(guò)快速檢測和診斷泄漏及污染，提高預防性維護程序的有效性和效率。
 

　　一、四極質(zhì)譜儀的功能：
 

　　通過(guò)運行高達 10mTorr(可選 20mTorr)的 UHV，提供經(jīng)濟實(shí)惠的雙用功能、過(guò)程監控和基本真空保證；
 

　　經(jīng)濟高效的過(guò)程監控器，可用于可擴展的生產(chǎn)設計；
 

　　通過(guò)持續自動(dòng)監控過(guò)程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質(zhì)，提高過(guò)程良率，減少碎片，提高產(chǎn)品質(zhì)量；
 

　　通過(guò)以高靈敏度和較小可檢分壓強驗證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染，加快 PM 恢復，提高生產(chǎn)力；
 

　　可在 1 - 100 amu 質(zhì)量范圍內運行，能夠檢測各種材料、污染或副產(chǎn)品，確保您的投資安全，降低投資風(fēng)險；
 

　　與 FabGuard 監控和分析系統相兼容，提供可靠、先進(jìn)的診斷和過(guò)程控制。
 

　　二、四極質(zhì)譜儀的典型應用:
 

　　太陽(yáng)能/光伏設備制造
 

　　LCD 制造
 

　　PVD 過(guò)程監控
 

　　監控過(guò)程氣體壓力和氣體比率
 

　　暴露和鑒別污染
 

　　檢測和查找泄漏(空氣、氦氣、水及其他蒸汽)
 

　　PM 恢復/故障排除和驗證基本真空