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隨著(zhù)質(zhì)譜技術(shù)的高速發(fā)展,作為一種分壓力測量?jì)x器的四極質(zhì)譜儀被用檢測物質(zhì)含量和鑒定物質(zhì)類(lèi)別。它采用的是兩級抽氣結構,前級為機械泵,后級為分子渦輪泵。工作時(shí),先由前級泵,將真空腔內的壓強降低幾個(gè)數量級,再由后級泵降至工作所需壓強。具有體積小、質(zhì)量輕、可選示漏氣體廣等諸多優(yōu)點(diǎn),可以在真空泄漏檢測領(lǐng)域中發(fā)揮更大的作用。
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