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活潑性/腐蝕性氣體分析儀

簡(jiǎn)要描述：HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀是專(zhuān)為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導體、真空過(guò)程研究而設計的儀器?？煽焖?、定量分析活潑性、腐蝕性氣體混合物。

  • 產(chǎn)品型號：HPR-80
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2023-11-22
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：2793
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詳細介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
應用領(lǐng)域綜合

HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀應用：


• 等離子體/反應性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導體晶片加工研究
• 真空、等離子體過(guò)程
• 活性物質(zhì)定量分析
• HF，HCl，HBr，CFC 研究

HPR-80活潑性/腐蝕性氣體分析儀特點(diǎn)：


• 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連結器
• 可清除的，帶粘性流QIC校正的進(jìn)樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數為 2500 amu.
• 進(jìn)樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計，壓力檢測可不受分析物影響
• 穩定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
• 軟件 MASsoft 控制
• 矩陣反演，歸一化及單峰參考
 

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