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殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀

簡(jiǎn)要描述：分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過(guò)程監測和殘余氣體的分析。該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成，并能在分子束外延環(huán)境中長(cháng)期使用。

  • 產(chǎn)品型號：HALO 201 MBE
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2024-05-13
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：3912
詳細介紹
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儀器簡(jiǎn)介：

HALO 201 MBE 分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀用于泄漏探測、趨勢分析、真空診斷的過(guò)程監測和殘余氣體的分析。 該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成，并能在分子束外延環(huán)境中長(cháng)期使用。

主要特點(diǎn)：

1、鉬銅布線(xiàn)增加MBE環(huán)境下系統的壽命

2、抗污染離子源護罩

3、雙法拉第/ channelplate電子倍增器

HALO 201 MBE 殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀技術(shù)規格：

·質(zhì)量數范圍：1～300 amu

·掃描速度：100amu/s

·小掃描步階：0.01amu

·靈敏度：0.1 ppm～1ppm

·穩定性：24h以上，峰高變化小于±0.5%

·小檢測分壓：2 x 10-13 mbar

·大工作壓力：1 x 10-4 mbar

 
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