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簡(jiǎn)要描述:腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀HPR-80( Reactive/Corrosive Species Analyzer)是專(zhuān)為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導體、真空過(guò)程研究而設計的儀器,快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體,如反應中間產(chǎn)物,HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強腐蝕性與半導體工藝氣體。
品牌 | 其他品牌 | 最小檢測分壓 | 5E-14 mbar |
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檢測限 | 5ppb | 質(zhì)量數范圍 | 510amu |
價(jià)格區間 | 100萬(wàn)-150萬(wàn) | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
應用領(lǐng)域 | 化工,電子,冶金,航天,電氣 |
20年前,Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀,初期主要應用于半導體行業(yè)的特氣檢測,如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等,強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等,強氧化性氣體如CIF3、NF3等。
20年來(lái),Hiden在這一細分領(lǐng)域具有強大的產(chǎn)品力,針對不同程度的腐蝕氣體分析,提供不同的解決方案。
HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體,HF,HCl,HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應產(chǎn)物。
主要特點(diǎn):
1、連接件電拋光工藝處理
2、取樣壓力:1mTorr to 1000Torr
3、高靈敏度三級過(guò)濾四極桿
4、檢測限可達 5 ppb
5、QGA專(zhuān)業(yè)版定量分析軟件
上一產(chǎn)品:LAS泄漏分析系統 在線(xiàn)質(zhì)譜分析方法
下一產(chǎn)品:PTR-TOF QBVOCs走航質(zhì)譜儀
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